2025年度 (最新) 学院等開講科目物質理工学院応用化学系応用化学コース

プラズマ化学プロセス

開講元: 応用化学コース
担当教員: 森伸介
授業形態: 講義
メディア利用科目: -
曜日・時限 (講義室)
クラス: -
科目コード: CAP.C533
単位数: 100
開講時期: 2025年度
開講クォーター: 3Q
シラバス更新日: 2025年4月2日
使用言語: 英語

シラバス

授業の目的（ねらい）、概要

【講義の概要】プラズマを利用した化学プロセスの概要や特徴の解説を行い、プロセスで用いられるプラズマの特徴、プラズマの生成方法、プラズマ中での反応や移動現象に関する講義、演習を行います。
【講義のねらい】プラズマを利用した化学プロセスの特徴や原理を理解し、操作条件の最適化やプロセス設計の指針を立てる能力を修得することを目指します．

到達目標

【到達目標】　本講義を履修することにより，プラズマを利用した化学プロセスの特徴や原理を理解し、プロセスで用いられるプラズマの特徴、プラズマの生成方法、プラズマ中での反応や移動現象に関する基礎や原理を理解し、操作条件の最適化やプロセス設計の指針を立てる能力を習得することを到達目標とします．

キーワード

プラズマ，気体放電，エッチング，CVD，スパッタリング，表面処理

学生が身につける力

専門力
教養力
コミュニケーション力
展開力 (探究力又は設定力)
展開力 (実践力又は解決力)

授業の進め方

講義の前半で，復習を兼ねて前回の演習問題の解答を解説します。また，その日の講義内容の要点を演習形式で示します。講義の後半で，その日の講義内容に関する演習問題に取り組んでもらいます。

授業計画・課題

	授業計画	課題
第1回	プラズマの基礎と放電の種類	プラズマの基礎と放電の種類を説明できるようになる．
第2回	タウンゼントメカニズムによる放電	タウンゼントメカニズムによる放電を説明できるようになる．
第3回	ストリーマーメカニズムによる放電と大気圧非熱プラズマ	ストリーマーメカニズムによる放電を説明できるようになる．
第4回	プラズマ中での気相反応	プラズマ化学反応の特徴を説明でき、反応速度を計算できるようになる．
第5回	プラズマシースとプラズマ中での表面反応	プラズマシースとプラズマ中での表面反応を説明できるようになる．
第6回	非熱プラズマを用いた化学プロセス（I）	非熱プラズマを利用した化学プロセスを説明できるようになる．
第7回	非熱プラズマを用いた化学プロセス（II）	非熱プラズマを利用した化学プロセスを説明できるようになる．

準備学修(事前学修・復習)等についての指示

学修効果を上げるため，教科書や配布資料等の該当箇所を参照し，「毎授業」授業内容に関する予習と復習（課題含む）をそれぞれ概ね100分を目安に行うこと。

教科書

特になし．

参考書、講義資料等

講義において配布する資料を使用します．

成績評価の方法及び基準

演習および期末試験で成績を評価する。

履修の条件・注意事項

履修の条件は設けない．

連絡先 (メール、電話番号) ※”[at]”を”@”(半角)に変換してください。

mori[at]mct.isct.ac.jp : 森伸介

オフィスアワー

メールで事前予約すること．