2025年度 (最新) 学院等開講科目工学院電気電子系電気電子コース

先端LSI技術解析

開講元: 電気電子コース
担当教員: 若林整 / 筒井一生 / 白倉孝典
授業形態: 講義/演習
メディア利用科目: -
曜日・時限 (講義室): 集中講義等 (石川台１号館754室)
クラス: -
科目コード: EEE.C501
単位数: 110
開講時期: 2025年度
開講クォーター: 2Q
シラバス更新日: 2025年3月28日
使用言語: 英語

シラバス

授業の目的（ねらい）、概要

現代社会を根底で支える大規模集積回路(VLSI)技術について理解しておくことはとても重要です。そこで具体的にはLSIの断面透過型電子顕微鏡写真などを用いて、製造技術について総合的に理解することを進めます。

到達目標

本講義を履修することによって，現代社会を支える大規模集積回路について理解を進めることを到達目標とします。さらに，実際の集積回路設計に応用できるようになることを目標とします。

実務経験のある教員等による授業科目等

実務経験と講義内容との関連 (又は実践的教育内容)

以下の実務経験が全て講義内容と関連。集積回路向けデバイス技術領域において複数企業で20年の実務経験を持つ教育担当教員がその実務経験を活かし、先端LSI技術解析について基礎と応用に関する教育を行う。
・NEC(株)での先端CMOS研究開発(1993年4月から2006年3月)
・ソニー(株)での先端CMOSおよび半導体デバイス研究開発(2006年4月から2012年12月)

キーワード

大規模集積回路(VLSI)技術、CMOS集積回路、スケーリング技術、微細化技術、露光技術、成膜技術、エッチング技術、CMP技術、メモリデバイス技術、センサー技術、アクチュエータ技術、配線技術、パッシブデバイス技術、パッケージ技術

学生が身につける力

専門力
教養力
コミュニケーション力
展開力 (探究力又は設定力)
展開力 (実践力又は解決力)

授業の進め方

集中講義(8月5日午後、6日終日、7日終日、8日午前)とし、提供する題材を基に解析や調査、議論、発表、討論を行います。自身のPCの持参をお願いします。

授業計画・課題

	授業計画	課題
第1回	第一日目午後第1回緒言：LSI製造技術、解析方法紹介第2回ロジックLSI: 説明と発表準備第二日目第3回ロジックLSI: 発表と議論第4回 Memory: 説明と発表準備第三日目第5回 Memory: 発表と議論第6回センサ：説明と発表準備第四日目第7回センサ：発表と議論第8回結言：将来技術将来の方向性	先端LSI技術の理解

準備学修(事前学修・復習)等についての指示

教科書

タウア・ニン　最新VLSIの基礎、第2版、芝原健太郎、宮本恭幸、内田建監訳、丸善出版

参考書、講義資料等

T2SCHOLAあるいはT2Boxにアップロードされた資料を参照

成績評価の方法及び基準

試験は行わず、発表内容と最後の回で出題するレポートにより、評価を行います。

履修の条件・注意事項

なし

その他

Integrated Green-niXに関連した科目です。
集積Green-niX研究・人材育成拠点に参加する教育機関から参加する学生とともに履修していただきます。
また、最大収容人数を設定する可能性があります。
https://www.knc.titech.ac.jp/gnx/igx_college/index.html