2024年度学院等開講科目工学院機械系

マイクロ・ナノ加工基礎

開講元: 機械系
担当教員: 金俊完 / 進士忠彦 / 山本貴富喜 / 西迫貴志
授業形態: 講義 (対面型)
メディア利用科目: -
曜日・時限 (講義室): 月1-2 (I1-254(I124))
クラス: -
科目コード: MEC.J331
単位数: 100
開講時期: 2024年度
開講クォーター: 1Q
シラバス更新日: 2025年3月14日
使用言語: 日本語

シラバス

授業の目的（ねらい）、概要

本講義では，MEMS/NEMSデバイスの応用例や作製のための様々な微細加工技術を学ぶ．特に，
1.フォトリソグラフィーを基盤とするパターニング技術
2. 堆積技術
3. エッチング技術(ウェット&ドライ)
4. ナノ加工技術，次世代加工技術などの様々な微細加工技術
を，その背景にある物理と共に習得する．

到達目標

この科目は，学習目標の１．【専門力】基礎的な専門力の習得に対応する．具体的には，
本講義を履修することにより，以下の能力を習得する．
1) フォトリソグラフィーを基盤とした微細加工技術の各手法の理解し利用する能力．
2) MEMS/NEMSデバイスの基本な設計が出来るようになる．

キーワード

MEMS，NEMS，マイクロマシン，ナノマシン，フォトリソグラフィー，堆積，ウェット&ドライエッチング，ナノ加工

学生が身につける力

専門力
教養力
コミュニケーション力
展開力 (探究力又は設定力)
展開力 (実践力又は解決力)
6. 機械工学の発展的専門学力， 7. 専門知識を活用して新たな課題解決と創造的提案を行う能力

授業の進め方

毎週それぞれのテーマを学習します．

授業計画・課題

	授業計画	課題
第1回	MEMS/NEMSの概要	MEMS/NEMSとは何か?，そのアプリケーションから学ぶ．
第2回	パターニング	フォトリソグラフィーによるパターニング法の理解する．
第3回	堆積	様々な堆積技術を理解する．
第4回	ウェットエッチング	ウェットエッチングとは何かを理解する．
第5回	ドライエッチング	ドライエッチングとは何かを理解する．
第6回	ナノ加工	様々なナノ加工技術を学ぶ．
第7回	プロセス技術の統合	多様なマイクロ・ナノ加工プロセスを統合した技術を学ぶ．

準備学修(事前学修・復習)等についての指示

学修効果を上げるため，教科書や配布資料等の該当箇所を参照し，「毎授業」授業内容に関する予習と復習（課題含む）をそれぞれ概ね100分を目安に行うこと。

教科書

講義毎に担当者から，プリントを配布もしくはデジタル配信する．

参考書、講義資料等

はじめてのＭＥＭＳ，江刺　正喜，森北出版
センサ・マイクロマシン工学，藤田　博之，オーム社
薄膜製作の基礎，麻蒔立男，日刊工業新聞社
マイクロ加工の物理と応用，吉田善一，裳華房

成績評価の方法及び基準

期末試験により評価する．ただし，期末試験が実施できない場合（コロナのような時）はレポートなどに置き換える場合がある．

履修の条件・注意事項

2024年度は，2023年4月1日以降に入学した学生(23B～)は履修できません．