2020年度学院等開講科目工学院機械系機械コース

超精密計測

開講元: 機械コース
担当教員: 吉岡勇人 / 初澤毅 / 原精一郎 / 葭田貴子
授業形態: 講義 (ZOOM)
メディア利用科目: -
曜日・時限 (講義室): 月5-6 (Zoom)
クラス: -
科目コード: MEC.J431
単位数: 100
開講時期: 2020年度
開講クォーター: 3Q
シラバス更新日: 2025年7月10日
使用言語: 英語

シラバス

授業の目的（ねらい）、概要

先端機械分野において不可欠な超精密形状計測に関する基本手法と情報処理法の基礎を学んだ後，超精密触針式計測法，走査型プローブ顕微鏡，超精密レーザ計測，超精密運動計測などに関して，最新の話題を中心に紹介する．

到達目標

本講義を履修することによって次の能力を修得する。
１）超精密計測の概念と要件を説明できる。
２）超精密形状計測の具体的各方法を説明できる。
３）超精密計測を支える技術を説明できる。
４）超精密測定を開発する基礎を身につける。

実務経験のある教員等による授業科目等

実務経験と講義内容との関連 (又は実践的教育内容)

担当教員のうちの一人は，旧通産省・計量研究所において，ナノメートルオーダー長さの国家標準設定と精密測定・校正技術に12年間携わり，超精密計測に関して十分な実務経験を有する．ここでの実務及び研究内容を講義に反映する．

キーワード

超精密形状計測，情報処理，超精密触針式計測，走査型プローブ計測，レーザ計測

学生が身につける力

専門力
教養力
コミュニケーション力
展開力 (探究力又は設定力)
展開力 (実践力又は解決力)

授業の進め方

毎回トピックスに関して講義する。

授業計画・課題

	授業計画	課題
第1回	超精密測定と標準設定技術	精密・超精密とは
第2回	超精密触針式計測・走査式プローブ顕微鏡	触針トレースの限界
第3回	超精密計測のための情報処理	測定値処理の必要性
第4回	座標測定システム	寸法・形状検証アルゴリズム
第5回	超精密レーザ計測	レーザ光学
第6回	運動精度測定法	運動精度とは
第7回	ヒトの脳を中心とした生体計測データの計測	生体計測とは

準備学修(事前学修・復習)等についての指示

学修効果を上げるため，教科書や配布資料等の該当箇所を参照し，「毎授業」授業内容に関する予習と復習（課題含む）をそれぞれ概ね100分を目安に行うこと。

教科書

特になし

参考書、講義資料等

１）機械工学便覧β5計測工学
２）J.M.Rueger;Electronic Distance Measurement, Springer-Verlag(1990)　
３）築添正；精密測定学，養賢堂(1986)
４）J.S.Bendat and A.G.Piersol;Analysis and Measurement Procedures,
　　　John Wiley & Sons,Inc.(1971)
５）J.Feder;Fractals,Plenum Press,N.Y.(1988)
６）M.J.Bx, D.Davies and W.H.Swann;Mathematical and Statistical Techniques,Imperial Chemical IndustriesLtd.

成績評価の方法及び基準

複数回レポート提出 100% （出席はレポート課題を採点するための条件となる）

履修の条件・注意事項

機械，システム制御系の計測の講義を受講していることが望ましい